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发明名称 High dense sintered body of aluminium nitride, method for preparing the same and member for manufacturing semiconductor using the sintered body
摘要
申请公布号 KR100940019(B1) 申请公布日期 2010.02.03
申请号 KR20050033733 申请日期 2005.04.22
申请人 发明人
分类号 C04B35/581 主分类号 C04B35/581
代理机构 代理人
主权项
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