处理系统

摘要

在匣盒站与处理站之间透过输送机构进行基板接送之系统中，达到作业时间大幅改善。于搬入单元(IN)120及清洗处理部25，布设将棒状滚轮160以既定间隔配置而成之第1输送路162。于搬入单元(IN)120，设置有：临时支持部168，自输送单元20之输送机构22同时将2片基板Gi、Gi＋1以水平状态接取而后临时地支持；及，移载机构170，自该临时支持部168将基板Gi，Gi＋1依序地逐片装置于输送路162上之既定位置。

主权项

一种处理系统，具备：处理站，包含用以逐片处理被处理基板的多数之处理装置，将前述基板依序送到该等多个处理装置而进行一连串之处理；匣盒站，配置有一个或多个并排之匣盒，以可于前述处理站附近取出置入基板方式成多段收纳着多数之基板；输送机构，设于前述匣盒站与前述处理站之间，自前述匣盒站上任一前述匣盒将未处理之基板以2片为单位取出，输送到前述处理站，并将处理完毕的基板以2片为单位自前述处理站送回前述匣盒站上之任一前述匣盒；搬入部，设于前述处理站，自前述输送机构以2片为单位接取未处理的基板，而后逐片地供给到初段之处理装置；搬出部，设于前述处理站，逐片接取来自最终段之处理装置的所有处理完毕的基板，而后以2片为单位交接给前述输送机构。