PLASMA REACTOR SUBSTRATE MOUNTING SURFACE TEXTURING,申请号KR20070107664-传众专利搜索

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发明名称	PLASMA REACTOR SUBSTRATE MOUNTING SURFACE TEXTURING
摘要
申请公布号	KR100939588(B1)	申请公布日期	2010.02.01
申请号	KR20070107664	申请日期	2007.10.25
申请人		发明人
分类号	H01L21/02	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
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