SISTEMA DE ALINEACION DE PATRONES EN UN SUSTRATO MEDIANTE LITOGRAFIA POR ESTENCIL

摘要

Sistema de alineación de patrones en un sustrato mediante litografía por esténcil. El objeto principal de la presente invención es un sistema para alinear dos o más patrones en un sustrato utilizando litografía por esténcil en vacío, de modo que se consigue una precisión de alineación óptima. Más particularmente, se trata de un sistema de alineación de patrones basado en disponer un sensor de masa capaz de detectar el material emitido en una posición conocida detrás del esténcil, de modo que se conoce la posición de este último en función de la señal emitida por el sensor.