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发明名称 Verfahren zur Kontaktierung von Siliziumkarbid-Halbleitern
摘要
申请公布号 CH512822(A) 申请公布日期 1971.09.15
申请号 CH19700003320 申请日期 1970.03.06
申请人 AKTIENGESELLSCHAFT BROWN, BOVERI & CIE. 发明人 KOENIGER,MAXIMILIAN,DIPL.-PHYS.
分类号 H01L21/04;(IPC1-7):H01L7/36;C23C13/02 主分类号 H01L21/04
代理机构 代理人
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