| 发明名称 | 具有暗化光瞳的大孔径物镜 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种物镜，尤指一种特别在波长≤193nm中使用的微光刻投影物镜，包括有：第一局部物镜(100)，具有至少一个镜体，其中镜体(S1)不具有能由光束穿过的孔；第二局部物镜(200)，具有至少一个主凹面镜(SK1)和副凹面镜(SK2)，其中主凹面镜(SK1)和副凹面镜(SK2)都具有能由光束穿过的孔。 | ||
| 申请公布号 | CN100582861C | 申请公布日期 | 2010.01.20 |
| 申请号 | CN200580044848.3 | 申请日期 | 2005.12.22 |
| 申请人 | 卡尔蔡司SMT股份公司 | 发明人 | 汉斯-于尔根·曼;戴维·谢弗;威廉·乌尔里希 |
| 分类号 | G02B17/06(2006.01)I | 主分类号 | G02B17/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 邱 军 |
| 主权项 | 1、一种反射投射物镜，由第一局部物镜和第二局部物镜组成，其中一束光线从物面穿过所述投射物镜到像面，其中所述第一局部物镜将所述物面上的物成像为过渡像，其中所述第二局部物镜将所述过渡像成像到像平面中，其中所述第一局部物镜由多个镜体组成，所述镜体不具有供所述光束穿过的孔；以及其中所述第二局部物镜由主镜和副凹面镜组成，其中所述主镜和所述副凹面镜都具有供所述光束穿过的孔，其特征在于所述主镜为凹面镜。 | ||
| 地址 | 德国上科亨 | ||