基于MEMS插入式流量传感器的液压系统功率测量装置

摘要

本发明涉及一种液压系统功率测量装置，尤其是基于MEMS插入式流量传感器的液压系统功率测量装置。该装置主要由测量管、探头、固定装置、流量计二次仪表、封装结构、MEMS敏感芯体、信号线、高压取压口、低压取压口，压力传感器和信号采集处理设备构成。流量测量装置将MEMS敏感芯体置于插入式流量计探头内部，取消了传统插入式流量计需要引压到管外的结构。压力传感器测量所在管路的压力信号。根据流量—压力—功率数学关系模型，实现对液压系统功率的测量。本发明实现了液压系统流量、压力以及功率的在线测量，为液压系统状态监测以及故障诊断提供了合适的解决方案。

主权项

1、基于MEMS插入式流量传感器的液压系统功率测量装置，其特征在于，该装置由测量管(1)、探头(2)、固定装置(3)、高压取压口(8)、低压取压口(9)，压力传感器(10)、信号采集处理设备(11)及流量传感器部分的MEMS敏感芯体(6)、封装结构(5)、信号线(7)、流量计二次仪表(4)构成；探头(2)通过固定装置(3)固定在测量管(1)内部；MEMS敏感芯体(6)被封装在封装结构(5)内部进行测量；封装结构(5)固定在探头(2)内部，封装结构(5)开口处分别与高压取压口(8)和低压取压口(9)相通；高压取压口(8)与低压取压口(9)均设计在探头(2)上，位于测量管(1)内部；MEMS敏感芯体(6)的两个取压管分别经高压取压口(8)和低压取压口(9)接触高压和低压流体；信号线(7)与MEMS敏感芯体(6)连接后引出测量管(1)至流量计二次仪表(4)；流量计二次仪表(4)和压力传感器(10)与信号采集处理设备(11)连接。