| 发明名称 | 使用微柱的便携式电子显微镜 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种使用微柱的便携式电子显微镜。该便携式电子显微镜包括：微柱；低真空泵；高真空泵；超高真空泵；第一腔，其用于容纳和固定所述微柱和待测样本，并通过上述多个泵形成真空；控制器；和用于容纳上述多个泵、所述腔和所述控制器的壳体。 | ||
| 申请公布号 | CN100583374C | 申请公布日期 | 2010.01.20 |
| 申请号 | CN200580029367.5 | 申请日期 | 2005.09.01 |
| 申请人 | 电子线技术院株式会社 | 发明人 | 金浩燮;金秉辰 |
| 分类号 | H01J37/26(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李 辉;吕俊刚 |
| 主权项 | 1、一种便携式电子显微镜，该便携式电子显微镜包括：微柱；低真空泵；高真空泵；超高真空泵；第一腔，其用于容纳和固定所述微柱和待测样本，并通过上述多个泵形成真空；控制器；和壳体，其用于容纳上述多个泵、所述腔和所述控制器，其中所述便携式电子显微镜的尺寸小于400mm×500mm×400mm，从而能够移动。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道 | ||