用于离子束的静电平行透镜

摘要

一种用在离子束注入机上的透镜结构。该透镜结构包括沿离子运动方向间隔开的第一和第二电极。该透镜结构跨过离子束的宽度而在离子束路径的相对侧上延伸，以偏转进入该透镜结构的离子。该透镜结构包括用于减速离子的第一电极和用于加速离子的第二电极，以使进入透镜结构的离子以大约相同的离开轨道离开所述透镜结构，而与离子进入透镜结构时的轨道无关。在一种可选构造中，该透镜结构包括用于加速离子的第一电极和用于减速离子的第二电极。

主权项

1.一种离子注入装置，包括：离子源，用于发射从源材料产生的离子；质量区分磁体，用于使离子沿着处于离子源下游的离子行进路径而偏转出一轨道；扫描电极，其放置在质量区分磁体之后以拦截离子，以便按照一控制方式逐侧扫描离子以形成具有一宽度的离子束；以及透镜结构，其限定了离子经过的区域，以便在离子进入该透镜结构时将离子偏转出初始轨道，该初始轨道是沿着离子行进路径处于扫描电极下游；所述透镜结构包括沿离子运动方向间隔开的第一和第二电极，该第一和第二电极跨过离子束的宽度而在离子束路径的相对侧上延伸，以偏转进入该透镜结构的离子；所述透镜结构包括一个用于加速离子的电极和一个用于减速所述离子的电极，使得进入透镜结构的离子以大约相同的离开轨道离开所述透镜结构，而与离子进入透镜结构的轨道无关。