基板转移系统及转移方法

摘要

一种基板转移系统，用于将位于装载位置的基板转移至卸料位置，所述基板转移系统包括：第一吸附装置、第二吸附装置、第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置、第四驱动装置、及一控制器，所述控制器控制所述第一吸附装置、第二吸附装置、第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置及第四驱动装置，使得所述第一吸附装置与第二吸附装置交替吸附位于装载位置的基板并将吸附的基板交替转移至卸料位置放下。本发明还涉及一种基板的转移方法。

主权项

1.一种基板转移系统，用于将位于装载位置的基板转移至卸料位置，所述基板转移系统包括：第一吸附装置、第二吸附装置、第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置、第四驱动装置、及一控制器，所述第一驱动装置与第三驱动装置分别用于驱动所述第一吸附装置与第二吸附装置沿竖直方向远离或靠近所述基板运动从而所述第一吸附装置与第二吸附装置可吸附位于装载位置的基板，所述第二驱动装置与第四驱动装置分别用于驱动所述第一吸附装置与第二吸附装置沿水平方向在所述装载位置与所述卸料位置之间移动，所述控制器控制所述第一吸附装置、第二吸附装置、第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置及第四驱动装置，使得所述第一吸附装置与第二吸附装置交替吸附位于装载位置的基板并将吸附的基板交替转移至卸料位置放下。