| 发明名称 | 化学机械抛光垫制造组合件 | ||
| 摘要 | 提供一种化学机械抛光垫制造组合件，该组合件具有：子垫层，其具有顶表面和底表面；背板，具有顶侧和底侧；牺牲层，具有至少两个凹区，凹区设计用来便于子垫层与背板的贴附；其中，子垫层设置在背板的顶侧，牺牲层设置在背板的底侧，至少两个环绕包裹垂片延伸至背板的底侧。还提供使用所述化学机械抛光垫制造组合件制造化学机械抛光垫的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101628395A | 申请公布日期 | 2010.01.20 |
| 申请号 | CN200910160798.5 | 申请日期 | 2009.07.17 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 | 发明人 | M·詹森;J·G·诺兰德;B·哈丁;C·科德 |
| 分类号 | B24B37/04(2006.01)I;B24B29/02(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I;B24D18/00(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 白益华;周承泽 |
| 主权项 | 1.一种化学机械抛光垫制造组合件，其包括：子垫层，具有顶表面、底表面和至少两个环绕包裹垂片；背板，具有顶侧和底侧；和牺牲层，具有至少两个凹区，凹区设计用来便于子垫层与背板的贴附；其中，子垫层设置在背板的顶侧，牺牲层设置在背板的底侧，其中，所述至少两个环绕包裹垂片延伸至背板的底侧。 | ||
| 地址 | 美国特拉华州 | ||