发明名称 透明性薄膜的异物检查方法
摘要 本发明的目的是提供可以去除透明性薄膜表面附着的异物,检测异物个数,高精度且迅速判定透明性薄膜的好坏的透明性薄膜的异物检查方法。该方法中,在光源和摄象机之间,使透明性薄膜在以正交尼科耳形式配置的2张偏光板之间移动,用摄象机拍摄透过该薄膜的来自光源的光,通过其图象处理检查透明性薄膜中的异物,其特征在于,根据异物的形状及异物的信号强度进行透明性薄膜表面附着的异物的去除处理后,检测异物个数,判定透明性薄膜的好坏。
申请公布号 CN100582752C 申请公布日期 2010.01.20
申请号 CN200410055732.7 申请日期 2004.07.29
申请人 住友化学工业株式会社 发明人 筱塚淳彦;本多聪;出口修央
分类号 G01N21/896(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I;G01N21/84(2006.01)I 主分类号 G01N21/896(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 杨 凯;叶恺东
主权项 1.一种透明性薄膜的异物检查方法,在光源和摄象机之间,使透明性薄膜在以正交尼科耳形式配置的2张偏光板之间移动,用摄象机拍摄透过该薄膜的来自光源的光,通过其图象处理检查透明性薄膜中的异物,其特征在于,根据异物的形状及异物的信号强度进行透明性薄膜表面附着的异物的去除处理后,检测异物个数,判定透明性薄膜的好坏,根据异物的形状进行透明性薄膜表面附着的异物的去除处理,是将满足下述条件之一的异物作为透明性薄膜表面附着的异物进行去除处理:(1)相对于薄膜的移动方向,平行方向的异物的长度分量和垂直方向的长度分量中短分量与长分量之比在设定值以下;(2)异物的面积与平行方向的异物的长度分量和垂直方向的长度分量相乘求得的面积之比在设定值以下;(3)异物的面积与以异物的最大长度为对角线的正方形的面积之比在设定值以下;(4)异物的面积与以异物的最大长度为直径的圆的面积之比在设定值以下,根据异物的信号强度进行透明性薄膜表面附着的异物的去除处理,是在信号强度中设置高强度阈值及低强度阈值,将不足低强度阈值的强度信号作为基本信号的偏差,将表现出超过高强度阈值的信号的异物作为透明性薄膜表面附着的异物,进行去除处理。
地址 日本大阪府
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