| 发明名称 | 半导体生产中掺杂剂的称量系统 | ||
| 摘要 | 一种半导体生产中掺杂剂的称量系统，它包括：多台电子秤，计算机，打印机，所述的电子秤与计算机之间接串口扩张卡，卡的一端为接口，该接口接电子秤数据传输线，另一端为输出端，该输出端接电脑主机，电子秤与电脑的数据传输采用标准的TCP/IP协议，计算机接带不干胶带的打印机。本系统的优点是：称量准确、快速，可避免不同掺杂剂在称量时产生的交叉污染。 | ||
| 申请公布号 | CN101625253A | 申请公布日期 | 2010.01.13 |
| 申请号 | CN200810116568.4 | 申请日期 | 2008.07.11 |
| 申请人 | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司 | 发明人 | 方峰;高恺;邓德辉;郑沉;张楠 |
| 分类号 | G01G17/00(2006.01)I | 主分类号 | G01G17/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郭佩兰 |
| 主权项 | 1、一种半导体生产中掺杂剂的称量系统，其特征在于：它包括：多台电子秤，计算机，打印机，所述的电子秤与计算机之间接串口扩张卡，卡的一端为接口，该接口接电子秤数据传输线，另一端为输出端，该输出端接电脑主机，电子秤与电脑的数据传输采用标准的TCP/IP协议，计算机接带不干胶带的打印机。 | ||
| 地址 | 100088北京市新街口外大街2号 | ||