| 发明名称 | 有机金属化学气相沉积装置 | ||
| 摘要 | 为克服现有的有机金属化学气相沉积中氨在高温下对生产装置及所制备器件的损坏，本实用新型提供一种有机金属化学气相沉积装置，其包括一控制系统、一气体混合系统、一传送室、一反应室及一尾气处理系统，气体混合系统、传送室、尾气处理系统分别与反应室连通，其特征在于：此反应室包括一前反应室与一后反应室，前反应室为温度保持在600℃-1100℃范围内的恒温室。 | ||
| 申请公布号 | CN201381361Y | 申请公布日期 | 2010.01.13 |
| 申请号 | CN200920154796.0 | 申请日期 | 2009.05.21 |
| 申请人 | 厦门市三安光电科技有限公司 | 发明人 | 庄文荣 |
| 分类号 | C23C16/18(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京华夏博通专利事务所 | 代理人 | 刘 俊;孙东风 |
| 主权项 | 1、一种有机金属化学气相沉积装置包括一控制系统、一气体混合系统、一传送室、一反应室及一尾气处理系统，气体混合系统、传送室、尾气处理系统分别与反应室连通，其特征在于：此反应室包括一前反应室与一后反应室，前反应室为温度保持在600℃-1100℃范围内的恒温室。 | ||
| 地址 | 361009福建省厦门市吕岭路1721号 | ||