一种大面积MEMS膜片型气体富集器

摘要

本发明公开了一种大面积MEMS膜片型气体富集器，包括一个硅基板、一个顶盖和设置在硅基板和顶盖之间的富集区，所述顶盖设置有进气口和出气口，其特征在于，所述富集区由多个富集单元构成，每个富集单元具有一个悬空膜片以及设置在悬空膜片上的薄膜加热器和吸附薄膜，在所述硅基板对应富集单元的下方设置为空腔。本发明通过将多个富集单元组合的方法，不仅兼有热容小、加热速率快等优点，而且有效地增加了吸附面积和吸附总量，提高了富集率。

主权项

1、一种大面积MEMS膜片型气体富集器，包括一个硅基板、一个顶盖和设置在硅基板和顶盖之间的富集区，所述顶盖设置有进气口和出气口，其特征在于，所述富集区由多个富集单元构成，每个富集单元具有一个悬空膜片以及设置在悬空膜片上的薄膜加热器和吸附薄膜，在所述硅基板对应富集单元的下方设置为空腔。