使扫描系统中的产出率最佳化的方法

摘要

一种使扫描系统中的产出率最佳化的方法，且选择性传递可变的所需量级的能量至一表面，该扫描方法包括：提供包括多个独立可编址子光束的扫描光束；以该扫描光束扫描该表面若干次，所述子光束在交叉扫描方向上并排扫描该表面，各所述子光束被调谐，以反射待写入的信息；以及重叠光束，使得在至少二次扫描期间，该表面的所有写入区域都被写上；提供给定的最佳化功率的所述扫描光束；确定参数的组合，包含在最大及最小速度之间的光束扫描速度，所述最大及最小速度定义一扫描速度比；所述表面及光束在垂直于扫描的方向的相对移动速率；以及适于以在最佳化功率的光束将曝光表面区域曝光至所需能量的光束重叠；以及利用所确定的参数组合曝光表面。

主权项

1、一种使扫描系统中的产出率最佳化的方法，且选择性传递可变的所需量级的能量至一表面，包括：以一用于将图案写在表面上的扫描方法扫描该表面，以依据子光束的调谐提供曝光区域及未曝光区域，其中该扫描方法包括：提供一扫描光束，该扫描光束包括多个独立可编址子光束；以所述扫描光束扫描该表面若干次，所述子光束于交叉扫描方向上并排扫描该表面，每个所述子光束被调谐，以反射待写入的信息；以及重叠光束，使得在至少二次扫描期间，该表面的所有写入区域都被写上；提供给定的最佳化功率的所述扫描光束；确定参数的组合，包含(1)在最大及最小速度之间的光束扫描速度，所述最大及最小速度定义一扫描速度比；(2)所述表面及光束在垂直于扫描的方向的相对移动速率；以及(3)适于以在最佳化功率的光束将曝光表面区域曝光至所需能量的光束重叠；以及利用所确定的参数组合曝光表面。