蚀刻设备

摘要

本实用新型公开了一种蚀刻设备，主要特征在于浸泡槽上方平均设置多个个喷源，喷源接受一药液工作槽的供给；浸泡槽内面两侧分别设置一入料浮动轮及一出料浮动轮，浮动轮分别重叠于一平台上；另在浸泡槽外侧对应浮动轮处分别设置一风刀。当玻璃基板通过入料浮动轮，该风刀便提供高速强劲的风来限制浸泡槽内的药液不至于溢出，待玻璃基板完全进入浸泡槽，送料导轮被控制带动基板微幅的往复移动进行浸泡，同时喷源对基板喷洒药液，藉此，可使玻璃基板表面得到均匀的药液接触，以及使基板表面接受药液更新的时间相同。

主权项

1.一种蚀刻设备，其特征在于，该设备包含： 一浸泡槽，其内面两侧分别设有一入料浮动轮及一出料浮动轮； 一送料导轮，用以承载一基板，使该基板可通过该入料浮动轮而进入该浸泡槽； 一喷洒统，其为该浸泡槽的外接系统，包含有一药液工作槽以及接受该药液工作槽供应药液的多个喷源，喷源是平均设置并相应于该浸泡槽上方，该药液工作槽与该浸泡槽之间以管路相连以补给或回收药液； 该喷洒统与该送料导轮受蚀刻设备中的一电控部所控制。