摘要 |
Structure getter (100) comportant un substrat (102) et au moins une couche (108) à base d'au moins un matériau getter reliée mécaniquement au substrat (102) par l'intermédiaire d'au moins un support (110, 112), la surface du support (110, 112) en contact avec le substrat (102) étant inférieure à la surface d'une face principale de la couche (108) de matériau getter en contact avec le support (110, 112). |