发明名称 ine darauf heteroepitaktisch abgeschiedene Schicht aus Silicium und Germanium und ein Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE102004053307(B4) 申请公布日期 2010.01.07
申请号 DE200410053307 申请日期 2004.11.04
申请人 SILTRONIC AG 发明人 STORCK, PETER
分类号 C30B25/02;C30B25/18 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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