| 发明名称 | 被检查体的交接机构 | ||
| 摘要 | 本发明提供了不会产生电噪声和热斑的能够高精度地进行高可靠性的检查的被检查体的交接机构。本发明的交接机构(10)构成为具备相互隔开规定的间隔横切载置台(20)(载置体22)地配置的两根具有绝缘性和耐热性的线材(11)、将上述线材(11)分别相对于载置体(22)的载置面平行地拉伸设置并且在载置体(22)的水平方向外侧分别配置的两对支承体(12)、收纳由上述支承体(12)分别拉伸设置的各线材(11)地在载置体(22)的载置面分别形成的两个槽(13)、使各线材(11)在载置体(22)的上方和各槽(13)之间升降的升降驱动机构(23)，经由两根线材(11)在晶片搬运机构(40)和载置体(22)之间交接半导体晶片W。 | ||
| 申请公布号 | CN101620238A | 申请公布日期 | 2010.01.06 |
| 申请号 | CN200910151871.2 | 申请日期 | 2009.07.01 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 赤池由多加;山田浩史;远藤朋也 |
| 分类号 | G01R1/06(2006.01)I;G01R1/073(2006.01)I | 主分类号 | G01R1/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙 淳 |
| 主权项 | 1.一种被检查体的交接机构，其在能够调节温度的载置台上保持被检查体而进行电特性检查时，在搬运机构和所述载置台之间对所述被检查体进行交接，其特征在于：具备，横切所述载置台而相互隔开规定的间隔地配置的至少两根绝缘性的线材；在所述载置台的水平方向外侧分别配置的至少两对支承体，以使所述各线材相对于所述载置台的载置面平行地拉伸设置；在所述载置台的载置面分别形成的至少两个槽，以收纳由所述至少两对支承体分别拉伸设置的所述各线材；以及通过所述至少两对支承体使所述各线材在所述各槽和所述载置面的上方之间升降的第一升降驱动机构，通过所述各线材在所述搬运机构和所述载置台之间交接所述被检查体。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||