光学镀膜自动化控制系统及其控制方法

摘要

本发明涉及一种光学镀膜自动化控制系统，包括工控机、控制单元、用于连接的串口扩展卡、显示器、数字温度控制仪、复合真空计；控制系统包括镀膜运行信号处理及程序控制功能模块、OPC控制系统软件、联锁功能模块、误操作保护功能模块、故障安全处理及报警功能模块、镀膜数据信息自动记录、存储功能模块、人机操作界面和异常报警界面。通过本发明的控制系统及控制方法，能够实现光学镀膜全过程的自动化运行，以及各部设备运行过程中发生异常和故障的自动监控和处理，而且能够对镀膜系统运行过程的信息参数自动进行实时显示、记录和储存，因而具有系统可靠性强，镀膜质量稳定，效率高，操作简便，降低生产成本等优点。

主权项

1、一种光学镀膜自动化控制系统，包括硬件系统和软件系统：其特征在于：该光学镀膜自动化控制系统包括：一个工控机，用于镀膜过程各部监测信号的接收、处理和镀膜运行程序的控制；一个控制单元，通过信号传输线分别与工控机和抽真空系统、工件盘旋转系统及电阻蒸发源连接，用于编程控制抽真空系统、工件盘旋转系统和电阻蒸发源的运行；一个串口扩展卡，通过信号传输线分别与工控机和晶控仪、电子枪、温度控制仪及复合真空计连接，用于镀膜监测数据和工控机指令信号的传输联接；一个显示器，用于镀膜过程中参数和状态的即时显示和控制程序的界面操作；一组温度控制仪，通过串口通讯线路与工控机连接，用于真空室的加热控制；一个复合真空计，通过串口与工控机连接，编程实现对抽真空系统仪表数据的采集，用于对真空室真空度的测量；一个控制软件系统，其中包括：一个镀膜运行信号处理及程序控制功能模块，用于编程实现镀膜过程的自动控制；一个OLE for process control控制系统软件，用于控制抽真空系统及工件盘旋转系统、电阻蒸发源的运行；一个联锁功能模块，用于镀膜过程中各部器件启动后的安全联锁；一个误操作保护功能模块，对运行人员的误操作自动拒绝执行，具有对镀膜工艺运行程序进行自动保护的功能；一个故障安全处理及报警功能模块，用于对镀膜过程各部运行状态进行自诊断以及运行故障的安全处理和声光报警；一个镀膜数据信息自动记录、存储功能模块，将对镀膜数据信息自动记录、存储；还设置有图像监控界面，其中包括：一个抽真空控制人机界面，用于抽真空系统运行参数的数据显示和控制操作；一个温度控制人机界面，用于加热器运行参数的数据显示和控制操作；一个镀膜工艺设置及修改人机界面，用于镀膜工艺的设置和修改操作；一个镀膜过程的控制人机界面，用于镀膜过程运行参数的数据显示和控制操作；一个异常报警界面，对运行过程中出现的各类故障进行报警显示。