发明名称 一种能量波反射装置的腔体装置
摘要 本发明公开了一种能量波反射装置的腔体装置,利用一能波源与一腔体曲线球面搭配,其中,该能波源是微波或光等,用以提供一能量,而该腔体曲线球面由最少一Fresnel反射装置所组成的曲线球面,用以反射该能量波,使其投射至一平台,而该腔体曲线球面可由一Fresnel反射装置与部分曲线球面组成,或最少两Fresnel反射装置与部分曲线球面组成,或全由Fresnel反射装置组成,本发明所提供的腔体装置可大大提高投射区的能量密度、大面积及能量均匀化,且一腔体内有多高能量区,以节省设备空间、设备与制程成本。
申请公布号 CN100577863C 申请公布日期 2010.01.06
申请号 CN200410058202.8 申请日期 2004.08.17
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 刘丙寅;陈明丰;蔡宏营
分类号 C23C16/27(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I 主分类号 C23C16/27(2006.01)I
代理机构 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 代理人 孙皓晨;贺华廉
主权项 1、一种能量波反射装置的腔体装置,其特征在于,包括:一能波源,提供一能量波;以及一腔体曲线球面,是由一Fresnel反射装置组成、一Fresnel反射装置与部分曲线球面组成、最少两Fresnel反射装置与部分曲线球面组成及全由Fresnel反射装置组成,上述四种中的一个,用以反射该能量波,使其投射至一平台,该腔体曲线球面为等效抛物曲线球面,该等效抛物曲线球面具等效焦点并且该能波源设置在该等效焦点上,使能量波反射后均匀投射至该平台。
地址 中国台湾