发明名称 |
电子束蒸发技术制备微球碳化硼薄膜的方法与装置 |
摘要 |
一种电子束蒸发技术制备微球碳化硼薄膜的方法,将碳化硼膜料放到电子束蒸发设备的坩埚中,将清洗、干燥后的微球形衬底放到三维沉积装置的筛网反弹盘里,使微球形衬底位于坩埚正上方20cm~30cm处;在真空条件进行镀膜,镀膜真空度不低于5.0×10<sup>-3</sup>Pa,衬底温度为室温~300℃;调节电子束使其聚焦到膜料上的斑点最小,调节三维沉积装置,使筛网反弹盘以0.125Hz~1Hz的频率作间歇式振动,束流值控制在80mA~140mA,镀膜时间为5h-100h。此方法可制备出球形衬底的微球碳化硼薄膜,薄膜结构因工艺不同有多晶和非晶两种状态,所制备的碳化硼薄膜表面光滑、均匀性良好。 |
申请公布号 |
CN101619436A |
申请公布日期 |
2010.01.06 |
申请号 |
CN200910060287.6 |
申请日期 |
2009.08.06 |
申请人 |
四川大学 |
发明人 |
廖志君;范强;王自磊;刘成士;赵利利;卢铁城 |
分类号 |
C23C14/06(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/06(2006.01)I |
代理机构 |
成都科海专利事务有限责任公司 |
代理人 |
黄幼陵 |
主权项 |
1、一种用于制备微球碳化硼薄膜的三维沉积装置,包括电机(1),其特征在于还包括触杆I(2)、触杆II(3)、活塞式压板(10)、套筒(4)、弹簧(5)、支撑板(6)和筛网反弹盘(8);支撑板(6)的一端与筛网反弹盘(8)连接,套筒(4)固定在支撑板上,弹簧(5)安装在套筒(4)内,活塞式压板与套筒(4)为动配合,活塞式压板的下端面与弹簧(5)上端接触,活塞式压板的上端面与触杆II(3)的一端连接,触杆II(3)的自由端为斜面,触杆I(2)至少为1根,安装在与电机(1)外壳固连的连接件上,触杆I(2)的长度为:在电机(1)带动下转至对应于触杆II(3)的位置时与触杆II接触并触动触杆II运动。 |
地址 |
610207四川省成都市双流县川大路二段2号 |