Sensor system, in particular for pressure or force sensing, and method for manufacturing a sensor system

摘要

Es wird eine Sensoranordnung und ein Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung vorgeschlagen, wobei die Sensoranordnung eine Membran und ein mit der Membran verbundenes Sensorelement aufweist, wobei das Sensorelement eine Mehrzahl von piezoresistiven Messbereichen aufweist, wobei das Sensorelement im wesentlichen eine rechteckige oder quadratische Begrenzung mit Begrenzungskanten aufweist und wobei die piezoresistiven Messbereiche jeweils eine Haupterstreckungsrichtung auf oder in dem Sensorelement aufweisen, die mit den Begrenzungskanten einen Winkel von etwa 40° bis etwa 50° aufweist.