含氟基溶剂的溶液的纯化方法

摘要

提供一种纯化方法，由此无需使用蒸馏装置，通过使用相对小型的设备便可以获得高纯度的氟基溶剂。包含氟基溶剂的混合溶液的纯化方法，这是一种从包含氟基溶剂、水溶性有机溶剂污染物、有机污染物和离子污染物的混合溶液中纯化氟基溶剂的方法，该方法包括：步骤(1)：水洗混合溶液以得到首次处理的溶液，其中水溶性有机溶剂污染物的浓度被降低到0.01重量％或更低，步骤(2)：用活性炭对首次处理的溶液进行处理以得到二次处理的溶液，其中有机污染物的浓度被降低到20ppb或更低，步骤(3)：用活性氧化铝对二次处理的溶液进行处理以得到三次处理的溶液，其中氟离子污染物被降低到10ppb或更低，以及步骤(4)：用颗粒清除过滤器对三次处理的溶液进行处理以得到氟基溶剂，其中0.1μm或更大的颗粒的数目为10个颗粒/mL或更少。

主权项

1.一种包含氟基溶剂的混合溶液的纯化方法，所述方法是从包含氟基溶剂、水溶性有机溶剂污染物、有机污染物和离子污染物的混合溶液中纯化氟基溶剂的方法，所述方法包括：步骤(1)：水洗所述混合溶液以得到首次处理的溶液，其中所述水溶性有机溶剂污染物的浓度被降低到0.01重量％或更低，步骤(2)：用活性炭对所述首次处理的溶液进行处理以得到二次处理的溶液，其中所述有机污染物的浓度被降低到20ppb或更低，步骤(3)：用活性氧化铝对所述二次处理的溶液进行处理以得到三次处理的溶液，其中所述氟离子污染物被降低到10ppb或更低，以及步骤(4)：用颗粒清除过滤器对所述三次处理的溶液进行处理以得到氟基溶剂，其中尺寸为0.1μm或更大的颗粒的数目为10个颗粒/mL或更少。