布线图形检查方法

摘要

本发明的目的是，通过组合由落射照明进行的检查和由反射照明进行的检查，不会误检测地检查布线图形的粗大或窄细。在TAB带(10)的检查对象图形(10a)上，使摄像装置(1c)、透射照明装置(1a)、落射照明装置(1b)进行扫描，而获得透射照明图像和落射照明图像，此外，在预先设定的每个检查区域中，将前述透射照明图像及落射照明图像与作为检查标准的标准图形进行比较，以判定布线图形是否合格，在器件孔的周缘区域或将树脂薄膜部分剥离的缝隙部的周缘区域等、横跨前述透光性基板的周缘而形成布线的区域中，基于前述落射照明图像，检查布线图形是否合格，在其以外的区域基于透射照明图像进行检查。

主权项

1、一种布线图形检查方法，用于检查形成在透光性基板上的布线图形是否合格，其特征为：其具备：第1工序，对作为检查标准的标准图形照射照明光，以获得前述标准图形的透射照明图像和落射照明图像；第2工序，参照前述标准图形的透射照明图像和落射照明图像来设定检查区域，使横跨前述透光性基板的周缘而形成布线的区域根据落射照明图像进行检查，而使其以外的区域根据透射照明图像进行检查；第3工序，对进行检查的布线图形照射照明光，以获得前述布线图形的透射照明图像和落射照明图像；及第4工序，基于第2工序中所设定的图像，进行布线图形是否合格的判定。