METHOD FOR DETECTING SURFACE DEFECTS ON A SUBSTRATE AND DEVICE USING SAID METHOD,申请号EP20080735530-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR DETECTING SURFACE DEFECTS ON A SUBSTRATE AND DEVICE USING SAID METHOD
摘要
申请公布号	EP2140252(A1)	申请公布日期	2010.01.06
申请号	EP20080735530	申请日期	2008.03.27
申请人	S.O.I. TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES;ALTATECH SEMICONDUCTOR	发明人	MOULIN, CECILE;MORITZ, SOPHIE;GASTALDO, PHILIPPE;BERGER, FRANCOIS;DELCARRI, JEAN-LUC;BELIN, PATRICE;MALEVILLE, CHRISTOPHE
分类号	G01N21/95;G01B11/25;H01L21/66	主分类号	G01N21/95
代理机构		代理人
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