用于测量固态器件中的薄层的方法

摘要

使用声学信号来测量压焊层的厚度的方法。该方法通过以下来实现：将声波施加到层化物体，该声波使得从不同界面反射主回波和次回波；检测和数字化回波以产生数字时间序列，处理该数字时间序列以去除噪声；使用与主回波匹配的滤波器滤波该时间序列；定位经滤波的时间序列的最大值的时间位置和幅度；使用所获得的时间位置和幅度时间平移和定标主回波；从所述时间序列中减去主回波变换模型以获得经净化的时间序列；使用与次回波匹配的滤波器滤波所述经净化的时间序列；定位所述次回波滤波的时间序列的最大值的时间位置；从主和次回波的时间定位之间的差中确定穿越时间；和确定压焊层厚度，其等于所测量的穿越时间的一半乘以在压焊层中声波或者脉冲的速度。

主权项

1.一种用于确定多层物体中的层的厚度的方法，包括步骤：选择第一物体，该第一物体包括具有下表面的第一层和具有上表面的第二层，该第二层的上表面经由第三层与所述第一层的下表面接触，该第三层与所述第一层的所述下表面形成第一界面并且与所述第二层的所述上表面形成第二界面；施加波到第一物体，该波将使得主回波从所述第一界面反射而且次回波从所述第二界面反射；检测和数字化所述主回波和所述次回波以产生包含所述回波两者的数字时间序列，用作为所述数字时间序列、主回波模型和次回波模型的固有参数、和作为主回波和次回波的时间位置和幅度的外来参数，以及控制主回波模型和次回波模型的变换的可选外来参数，来构建数值函数以产生用于量化所述主回波模型和次回波模型的拟合优度的函数，关于所述外来参数或所述可选外来参数将所述数值函数所量化的拟合优度进行最大化；从主和次回波的时间位置之间的差中确定在层中的穿越时间，和确定所述第一物体的层的厚度，其等于所测量的穿越时间的一半乘以在该层中的波速。