研磨／抛光设备之上定盘玻璃定位机构

摘要

本创作系提供一种研磨/抛光设备之上定盘玻璃定位机构，该上定盘之内部穿设有数管道、底侧穿设有连通管道之数通孔；一真空设备，连通该上定盘之管道，用以可抽气而使各该管道形成真空状态；一储水设备，连接该真空设备及真空设备与上定盘管道之连通管路，用以可输出及储存水；一切换组件，连接于该真空设备、储水设备与各管道之间，用以可切换该真空设备、储水设备与上定盘之管道之连通状态；一控制单元，连接该真空设备、储水设备，用以控制该真空设备是否运作及储水设备之水是否输入上定盘之管道。

主权项

一种研磨/抛光设备之上定盘玻璃定位机构，用以使该上定盘可吸附玻璃，其特征在于：该上定盘之内部穿设有数管道、底侧穿设有连通管道之数通孔；且更包含有：一真空设备，连通该上定盘之管道，用以可抽气而使各该管道形成真空状态；一储水设备，连接该真空设备及真空设备与上定盘管道之连通管路，用以可输出及储存水；一切换组件，连接于该真空设备、储水设备与各管道之间，用以可切换该真空设备、储水设备与上定盘之管道之连通状态；一控制单元，连接该真空设备、储水设备，用以控制该真空设备是否运作及储水设备之水是否输入上定盘之管道。