| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Vermessung eines Strahlflecks (37) eines Partikelstrahls, umfassend eine Einrichtung (31, 49), mit der Projektionen des Strahlflecks (37) auf eine Vielzahl von Richtungen (38, 40, 42, 44), die insbesondere im Wesentlichen senkrecht zu einer Verlaufsrichtung des Partikelstrahls stehen, erfassbar sind, und eine Auswertungseinheit (47), mit der aus den erfassten Projektionen ein zweidimensionales Querschnittsprofil des Partikelstrahls rekonstruierbar ist. Weiterhin umfasst die Erfindung ein entsprechendes Verfahren. Weiterhin umfasst die Erfindung eine Anlage zur Erzeugung eines Partikelstrahls mit einer derartigen Vorrichtung.</p> |
