多晶硅还原炉用硅芯夹持装置

摘要

本实用新型涉及一种新型多晶硅还原炉用硅芯夹持装置，该装置包括有螺套，卡芯和底座。卡芯呈橄榄形，中部为圆柱体，上下两端各带有一锥台，卡芯中心有一通孔，上下锥台各切割成等分的数个卡瓣；螺套为中空结构，螺套腔体下端设有带螺纹的柱状孔；所述底座为圆柱体，其上部外侧壁带有螺纹，底座与螺套之间采用螺纹连接，底座上下两端各设有凹槽。组装时，卡芯两端分别套设于螺套和底座内，螺套能够旋紧在底座上，将锥状卡瓣压紧，底座安放在位于还原炉底盘处的加热电极之上，锥状卡瓣上下两端收缩把插入其中的硅芯棒夹紧固定，通过限制硅芯的平动和转动，有效防止因硅芯偏转导致硅棒发生倒伏的现象，保证设备的稳定高效运行。

主权项

1、一种多晶硅还原炉用硅芯夹持装置，包括螺套(1)，卡芯(2)和底座(3)，其特征在于：所述卡芯(2)整体呈橄榄形，中部为圆柱体，上下两端各带有一锥台，卡芯中心有一通孔(21)，上下锥台各切割成等分的数个卡瓣(22)；所述螺套(1)为中空结构，螺套(1)腔体下端设有带螺纹的柱状孔；所述底座(3)为圆柱体，其上部外侧壁带有螺纹，底座与螺套之间采用螺纹连接，底座(3)上下两端各设有凹槽；组装时，卡芯(2)两端分别套设于螺套(1)和底座(3)内，螺套(1)腔体的上端形状与卡芯(2)上端锥台的形状相配合，底座(3)上端凹槽的形状与卡芯(2)下端锥台形状相配合。