多晶成长炉连续加料器

摘要

本实用新型提供一种多晶成长炉连续加料器，其包含有一与多晶成长炉相连通的外围盒体；一容设在外围盒体内的填料筒，其下方具一开口；一容设于外围盒体内且用以开闭开口的止料塞；一升降机构，其用以带动填料筒与止料塞上下移动；以及一用以开关外围盒体与多晶成长炉机台间通道的隔离阀。本实用新型利用止料塞开关填料筒来达到多次加料，有效减少多晶的工艺步骤并缩短工艺时间。

主权项

1、一种多晶成长炉连续加料器，其装设于一多晶成长炉上，其特征在于，该多晶成长炉连续加料器包含有：一外围盒体，其是与该多晶成长炉连通；一填料筒，其是容设在该外围盒体内，该填料筒下方具一开口，该填料筒的外侧壁设有一定位槽；一料止塞，其是容设于该外围盒体内且用以开闭该开口；一升降机构，其是用以带动该填料筒与该料止塞上下移动；一隔离阀，其是用以开关该外围盒体与该多晶成长炉机台间的通道；以及一定位块，其是位于该外围盒体的内侧壁上且邻近该隔离阀，该定位块是与该定位槽相卡合，以限定该填料筒移动范围。