致动器及其制造方法

摘要

本发明提供一种可以在降低的电压下驱动并且容易制造的致动器及其制造方法。致动器包括：通过隔离器固定到支撑衬底4上的第二支撑部分31和32；在隔离器没有干涉的条件下固定到支撑衬底4上的固定部分33和34；固定式梳状电极331和341，其是与固定部分33和34整体形成的或与其连接的，并且以彼此间隔开的关系与活动式梳状电极211和212啮合；和用于将固定部分33和34连接到第二支撑部分31和32上的桥接部分35和36。固定部分33和34以它们相对于第二支撑部分31和32向支撑衬底4偏转、同时使桥接部分35和36弯曲的状态被固定于支撑衬底4上，由此初始偏移固定式梳状电极331和341，以使其在支撑衬底4的厚度方向上与活动式梳状电极211和212不成直线。

主权项

1.一种致动器，其包含：支撑衬底；隔离器，其设置在支撑衬底上；第一支撑部分，每个第一支撑部分通过隔离器被固定在支撑衬底上：主体部分，其具有活动式梳状电极和旋转轴，并且相对于第一支撑部分是可旋转的；弹性连接部分，分别用于以主体部分能够相对于第一支撑部分旋转的方式使主体部分和第一支撑部分互连；至少一个第二支撑部分，其通过隔离器被固定在支撑衬底上；至少一个固定部分，其在隔离器没有干涉的条件下直接固定于支撑衬底上，使得固定部分在厚度方向上但是在比主体部分和第二支撑部分的位置低的位置上平行于主体部分和第二支撑部分，并且固定部分被安置在主体部分和第二支撑部分之间；固定式梳状电极，其是与固定部分作为一个整体形成的或是连接到固定部分，并且以彼此间隔开的关系与活动式梳状电极啮合，其中在固定式梳状电极的厚度方向上，在没有在固定式梳状电极和活动式梳状电极之间施加交流电压的状态下，至少部分固定式梳状电极与部分活动式梳状电极重叠；和桥接部分，用于直接或间接地连接固定部分到第二支撑部分，其中固定部分以固定部分相对于第二支撑部分向支撑衬底偏转、同时使桥接部分弯曲的状态被固定于支撑衬底，由此初始偏移固定式梳状电极，以使其在支撑衬底的厚度方向上与活动式梳状电极不成一直线，其中通过向活动式梳状电极和固定式梳状电极施加交流电压而使主体部分旋转。