| 发明名称 | 用于光学元件的更换设备 | ||
| 摘要 | 一种用于光学元件更换设备，所述光学元件安装在光刻物镜(1)内的两个相邻光学元件(2)之间，所述更换设备具有用于要被更换的光学元件(2a)的托架(5)，所述托架(5)可以通过光刻物镜(1)的壳体(1a)内的侧面开口(6)移入到光刻物镜(1)内。 | ||
| 申请公布号 | CN101614967A | 申请公布日期 | 2009.12.30 |
| 申请号 | CN200910161815.7 | 申请日期 | 2004.11.30 |
| 申请人 | 卡尔蔡司SMT股份公司 | 发明人 | J·库格勒;F·索尔格;A·乌尔姆布兰德;T·伊特纳;T·施勒特雷尔 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B7/00(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I;G02B7/14(2006.01)I;G02B7/182(2006.01)I;G02B13/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 邱 军 |
| 主权项 | 1、一种用于光学元件的更换设备，所述光学元件安装在光刻物镜内的两个相邻光学元件之间，该更换设备具有用于要被更换的光学元件的托架，所述托架可以通过光刻物镜的壳体内的侧面开口移入到所述光刻物镜内，其中所述光学元件通过均衡安装而被安装在光刻物镜内，其中所述壳体内的开口可被密封件封闭，所述密封件为固体材料的密封件或密封垫。 | ||
| 地址 | 德国上科亨 | ||