| 发明名称 | 一种CZ直拉单晶法真空泵的避震装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种CZ直拉单晶法真空泵的避震装置，包括槽钢底架(1)及避震结构，所述的避震结构为：在所述的槽钢底架(1)上方，设由柔性材料制成的上避震模块(2)；在所述的槽钢底架(1)下方，设由柔性材料制成的下避震模块(3)。采用上述技术方案，采用两级避震方式，更大幅度的降低真空泵的震动；采用新型的聚乙烯树脂棒作为主要避震方式，相对橡胶避震材料效果更佳。 | ||
| 申请公布号 | CN201372912Y | 申请公布日期 | 2009.12.30 |
| 申请号 | CN200920142766.8 | 申请日期 | 2009.01.19 |
| 申请人 | 芜湖升阳光电科技有限公司 | 发明人 | 刘福林;戴建国 |
| 分类号 | F04B39/00(2006.01)I;F04B37/14(2006.01)I | 主分类号 | F04B39/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 1、一种CZ直拉单晶法真空泵的避震装置，包括槽钢底架(1)及避震结构，其特征在于：所述的避震结构为：在所述的槽钢底架(1)上方，设由柔性材料制成的上避震模块(2)；在所述的槽钢底架(1)下方，设由柔性材料制成的下避震模块(3)。 | ||
| 地址 | 241100安徽省芜湖县芜湖机械工业园 | ||