发明名称 |
太阳能电池的后制绒生产工艺 |
摘要 |
本发明涉及一种晶体硅太阳能电池的生产方法,特别是一种太阳能电池的后制绒生产工艺。硅片依次通过清洗、扩散、制绒、去磷硅玻璃、刻边、镀氮化硅、减反射薄膜、印刷背面电极、印刷铝背场、印刷正面电极、烧结工艺后成为电池成品,制绒工艺在扩散工艺之后。硅片在进行选择扩散后,形成高掺杂区和低掺杂区,在理想状态,希望高掺杂区的截面形状是上下宽度一致,但是在实际生产中,高掺杂区的截面上宽下窄呈现漏斗状,为此在扩散完成后,进行制绒,在制绒过程中,会使硅片表面一薄层被去除,相应的高掺杂区的厚度降低,高掺杂区的截面此时更接近于上下宽度一致的理性状态。最终生产出来的太阳能电池的转换效率更高。 |
申请公布号 |
CN100576580C |
申请公布日期 |
2009.12.30 |
申请号 |
CN200810144293.5 |
申请日期 |
2008.07.31 |
申请人 |
常州天合光能有限公司 |
发明人 |
汪钉崇;夏庆峰 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
常州市维益专利事务所 |
代理人 |
王凌霄 |
主权项 |
1、一种太阳能电池的后制绒生产工艺,其特征在于:硅片(1)依次通过清洗、扩散、制绒、去磷硅玻璃、刻边、镀氮化硅、减反射薄膜、印刷背面电极、印刷铝背场、印刷正面电极、烧结工艺后成为电池成品。 |
地址 |
213031江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 |