正性抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法

摘要

正性抗蚀剂组合物，它包括树脂组分(A)和酸生成剂组分(B)，所述组分(A)包括在酸作用下其碱溶性增加的可酸解溶解抑制基团，而所述组分(B)在曝光时产生酸，其中树脂组分(A)为包括衍生自羟基苯乙烯的第一结构单元(a1)和衍生自含醇式羟基的(甲基)丙烯酸酯的第二结构单元(a2)的共聚物，其中在结构单元(a1)内的羟基和结构单元(a2)内的醇式羟基的总量的10摩尔％或更多以及25摩尔％或更少用可酸解溶解抑制基团保护，而共聚物用可酸解溶解抑制基团保护之前的重均分子量为2,000-8,500。

主权项

1.一种正性抗蚀剂组合物，它包括如下组分：树脂组分(A)，它包括在酸作用下其碱溶性增加的可酸解溶解抑制基团；和酸生成剂组分(B)，它在曝光时产生酸，其中树脂组分(A)为包括衍生自羟基苯乙烯的第一结构单元(a1)和衍生自含醇式羟基的(甲基)丙烯酸酯的第二结构单元(a2)的共聚物，其中在第一结构单元(a1)内的羟基和第二结构单元(a2)内的醇式羟基的总量的10摩尔％或更多且25摩尔％或更少被可酸解溶解抑制基团保护，用可酸解溶解抑制基团保护之前的所述共聚物的重均分子量为4,500或更多且8,000或更少，第一结构单元(a1)由通式(I)表示，并且第二结构单元(a2)由通式(II)表示：其中，R表示氢原子或甲基，其中，R表示氢原子或甲基，而x表示从1～3的整数。