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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5211003(B1) 申请公布日期 1977.03.28
申请号 JP19710005912 申请日期 1971.02.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/10;H02H9/04;(IPC1-7):H01L21/06 主分类号 H01L21/10
代理机构 代理人
主权项
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