首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
Drying treatment method and apparatus
摘要
申请公布号
EP0903775(B1)
申请公布日期
2009.12.23
申请号
EP19980117644
申请日期
1998.09.17
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
KAMIKAWA, YUJI;MINAMI, TERUOMI;KITAHARA, SHIGENORI
分类号
F26B3/04;H01L21/00;F26B9/06;F26B21/00;F26B21/14;F26B25/00
主分类号
F26B3/04
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
ТРАНСМИССИЯ С БЕССТУПЕНЧАТЫМ ИЗМЕНЕНИЕМ СКОРОСТИ
СПОСОБ ПЛАСТИКИ ЗАДНЕЙ СТЕНКИ ПОЗВОНОЧНОГО КАНАЛА ПОСЛЕ ЛАМИНЭКТОМИИ
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СМАЗОЧНОЙ КОМПОЗИЦИИ
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАТОРА МЯГКОГО РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
СПОСОБ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ ПОДЪЕМНЫМ КРАНОМ С МНОЖЕСТВОМ ТОЧЕК ПОДВЕСА
АНТЕННОЕ УСТРОЙСТВО, УСТРОЙСТВО ПРИЕМА И СПОСОБ УМЕНЬШЕНИЯ СИГНАЛА СИНФАЗНОЙ ПОМЕХИ
КЛЕТКИ СНО
СПОСОБ И УСТРОЙСТВА РАЗДЕЛЕНИЯ ОРГАНИЧЕСКОЙ И МИНЕРАЛЬНОЙ ФАЗЫ НЕФТЕ- И УГЛЕРОДСОДЕРЖАЩИХ СМЕСЕЙ
AN APPARATUS FOR ESCAPING FROM FIRE IN THE HIGH BUILDING
GOLF TOURNAMENT MANAGEMENT SYSTEM
TELEVISION WHICH IS EQUIP WITH FUNTION OF MONITORING FOR SOLAR CELL MODULE
METHOD FOR MANAGING COOPERATIVE NETWORK IN COGNITIVE RADIO NETWORK ASSISTED SATELLITE
APPARATUS AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE USING PLASMA
THE ATTO BLOOD SKIN COMPOSITION WHICH USES VITEX ROTUNDIFOLIA, COCKLEBUR, CURLED DOCKAND AND THE SOAP WHICH USES THIS
METHOD FOR TREATMENT OF DISCHARGED OZONE BY USING ALKALI REDUCTIVE SOLUTION
AN ULTRASONIC CLEANER AND METHOD THEREOF
PHARMACOLOGICAL COMPOSITION FOR PREVENTING OR IMPROVING THE ISCHEMIC BRAIN DISEASE CONTAINING EXTRACT OF ALPINIA KATSUMADAI HAYATA
LAMINATE HAVING SUPERHYDROPHOBIC SURFACE AND PROCESS FOR PREPARING THE SAME
APPRATUS FOR STRAIN MEASUREMENT USING ULTRASONIC WAVE SPEED
PIEZO ELECTRIC ACTUATOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
