小型不定向传声器

摘要

提供了包括一个膜片的一种小型传声器，该膜片顺性地悬在具有通气端口的一个环绕的空气体积上，其中相对于由声振动引起的位移该膜片的有效刚度主要受该被环绕的空气体积以及该端口的控制。该传声器可通过使用硅的微制造技术而形成并且对声压具有灵敏度，该灵敏度在实用尺寸的一个广阔的范围上基本与该膜片的尺寸无关。该膜片是由例如由多个梁或接片支撑而转动地悬挂，以响应于声振动的经过一个弧线而移动，并且具有一个封闭周边的狭缝，该狭缝将膜片与它的支撑结构分离开。在该膜片之后的空气体积对膜片提供了一种复位弹簧力。该传声器的灵敏度与该空气体积、周边狭缝、以及该膜片以及它的多个机械支撑的刚度有关，而与该膜片的面积无关。

主权项

1.一种传声器，包括：a)一个壳体，该壳体至少限定了一个环绕的体积区域的多个侧壁；b)一个膜片，该膜片可位移地支撑在该壳体的附近以形成用于该体积区域的一个封闭区的至少一部分；以及c)至少一个通气区域，该通气区域用于使在该体积区域内的压力与环境均衡；其中，由该膜片的位移引起的在该体积区域内的一种流体或气体的体积的变化提供基本上全部的恢复力，该恢复力对抗该膜片响应于声压波的运动。