SHORT COHERENCE INTERFEROMETRY FOR MEASURING FOR MEASURING SPACINGS

摘要

Es ist eine Kurzkohärenz-Interferometervorrichtung zur Messung mehrerer axial beabstandeter Bereiche (T1, T2) einer Probe (5), insbesondere eines Auges, beschrieben welche einen Meßstrahlengang (3), durch den Meßstrahlung auf die Probe (5) fällt, eine Abstimmungsinterferometereinrichtung (6) zur axialen relativen Verzögerung von Strahlungsteilen, wobei die axiale relative Verzögerung der axialen Beabstandung (L) der Bereiche (T1, T2) zugeordnetes ist, und - eine Detektoreinrichtung zur Erzeugung eines Interferenzsignals aus interferierender von der Probe (5) als Probenstrahlung zurückgestreuter oder -reflektierter Meßstrahlung aufweist, wobei die Abstimmungsinterferometereinrichtung (6) die Probenstrahlung in zwei Strahlungsteile aufteilt, axial relativ verzögert (6) und interferierend überlagert, - wobei die Abstimmungsinterferometereinrichtung (6) bei der Überlagerung Einzelstrahlungen (8) bildet, die Quadraturkomponenten der Probenstrahlung repräsentieren, und die Detektoreinrichtung die Einzelstrahlungen (8) detektiert.