半导体刻蚀设备中传输模块实现告警的方法及装置

摘要

本发明涉及一种半导体刻蚀设备中传输模块实现告警的方法及装置。本发明主要包括：告警服务器和告警处理模块，告警服务器用于在TMC启动后单独启动，对接收的告警处理模块发出的告警进行处理后发送消息给告警处理模块；以便于根据告警服务器发出的消息对故障告警作恢复处理。因此，本发明的实现可以较快的处理告警，通过捕获异常的方法，快速实现对告警恢复操作。而且本发明保持了物理层部件类的功能独立性，并且减少了很多重复代码，使软件的结构清楚，功能层次划分清楚，使整个TMC软件系统具有很好的结构性。

主权项

1、一种半导体刻蚀设备中传输模块实现告警的方法，其特征在于，包括：A、在传输模块控制器TMC启动后单独启动告警服务器，告警服务器单独启动后，生成告警静态表和两个告警队列，其中，所述告警静态表中存储用于确定告警对象发出方的信息，两个告警队列分别用于存储未处理告警的队列和用于存储已处理告警的队列；B、告警处理模块采集传输模块出现的异常，并生成对应的告警对象，之后发送给告警服务器；C、告警服务器接收告警处理模块发出的告警对象，并对该告警对象进行处理，之后，通知告警对象发出方执行相应的动作。