利用表面等离子体来增加能量吸收效率的半导体传感器

摘要

一种半导体传感器(100)，包括：半导体层(102)，其具有在该半导体层(102)一侧的接收入射辐射能(110)的入射表面(104)和在该半导体层(102)的另一侧的波纹表面；以及金属层(106)，其具有波纹表面，该波纹表面与半导体层(102)的波纹表面匹配并且与半导体层(102)的波纹表面接触，以在半导体层(102)和该金属层(106)之间形成波纹界面(108)。该波纹界面(108)与所述半导体层(102)的所述入射表面(104)基本平行，并且了能量吸收路径，通过该能量吸收路径入射辐射能(110)被吸收。

主权项

1.一种半导体传感器(100)，包括：半导体层(102)，其具有在所述半导体层(102)一侧的接收入射辐射能(110)的入射表面(104)和在所述半导体层(102)的另一侧的波纹表面；以及金属层(106)，其具有波纹表面，该波纹表面与所述半导体层(102)的波纹表面匹配并且与所述半导体层(102)的波纹表面接触，以在所述半导体层(102)和所述金属层(106)之间形成波纹界面(108)，所述波纹界面(108)与所述半导体层(102)的所述入射表面(104)基本平行；其中，所述半导体层(102)与所述金属层(106)之间的所述波纹界面(108)提供能量吸收路径，通过所述能量吸收路径所述入射辐射能(110)被吸收，并且其中，所述入射辐射能(110)包括光子，所述光子穿透所述半导体层(102)并且入射到所述波纹界面(108)，在所述波纹界面中所述光子被转换成表面等离子体(112)，所述表面等离子体沿与所述半导体层(102)的入射表面(104)基本平行的所述波纹界面(108)传输，并且产生延伸到所述半导体层(102)中并且在所述半导体层(102)中产生电子-空穴对(124，126)的的瞬失波。