发明名称 TRANSISTOR SOI AVEC PLAN DE MASSE ET GRILLE AUTO-ALIGNES ET OXYDE ENTERRE D'EPAISSEUR VARIABLE
摘要 Transistor (100) à grille (116) et plan de masse (104a) auto-alignés, comportant : - un substrat (102) à base de semi-conducteur, - une portion (104a) de matériau organométallique dont une première face est disposée en regard d'une face du substrat, formant le plan de masse du transistor, - une couche (106) diélectrique dont une première face est disposée contre une seconde face de la portion de matériau organométallique opposée à la première face de la portion de matériau organométallique, - des portions diélectriques (120, 124) disposées entre la face du substrat et la première face de la couche diélectrique, autour de la portion de matériau organométallique, une section, dans un plan sensiblement parallèle à la face du substrat, de la grille du transistor étant sensiblement égale à une section de la portion de matériau organométallique dans ledit plan.
申请公布号 FR2932609(A1) 申请公布日期 2009.12.18
申请号 FR20080053868 申请日期 2008.06.11
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 FENOUILLET BERANGER CLAIRE;CORONEL PHILIPPE
分类号 H01L21/336;H01L21/84;H01L29/76;H01L29/786;H01L29/788 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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