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发明名称 PROCESS FOR MAKING SILOXANE POLYMERS
摘要
申请公布号 EP2132253(A1) 申请公布日期 2009.12.16
申请号 EP20080709885 申请日期 2008.02.25
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 ZHANG, RUZHI;ABDALLAH, DAVID;LU, PINGHUNG;NEISSER, MARK
分类号 C08G77/06;C09D183/06;G03F7/075;H01L21/312 主分类号 C08G77/06
代理机构 代理人
主权项
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