| 发明名称 |
PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PRODUCTION METHOD FOR PROJECTION OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE SYSTEM AND EXPOSURE METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1801630(A4) |
申请公布日期 |
2009.12.16 |
| 申请号 |
EP20050778604 |
申请日期 |
2005.09.08 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
KUDO, YUJI;IWASAKI, TAKESHI |
| 分类号 |
G02B13/24;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
G02B13/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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