发明名称 切削装置
摘要 切削装置,其具有:保持被加工物的装夹台;对准机构,具有带有将被保持于该装夹台的被加工物的要加工区域加以检测的物镜的摄像机构;切削机构,对保持在该装夹台上的被加工物实施切削加工;具有将收纳摄像机构的物镜的物镜箱物镜箱的下方加以遮蔽的遮蔽机构,其具有:导引部件,在物镜箱的下端相对该物镜光轴成直角安装并有与该物镜箱相对应的第1孔;遮蔽部件,可移动地设置在导引部件下侧并有与第1孔相对应的第2孔,由可挠性片材构成;动作机构,使该遮蔽部件沿着该导引部件的下表面移动,使其位于使该第2孔与该第1孔相对置的作用位置和遮蔽该第1孔的遮蔽位置。其使由切削机构的切削而产生的飞溅的切削水的飞沫不附着于摄像机构的物镜。
申请公布号 CN100569441C 申请公布日期 2009.12.16
申请号 CN200610139548.X 申请日期 2006.09.26
申请人 株式会社迪斯科 发明人 藤波孝一;伊藤直之;吴斌
分类号 B23Q11/08(2006.01)I;B23Q17/24(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)N;H01L21/301(2006.01)N 主分类号 B23Q11/08(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 黄剑锋
主权项 1、一种切削装置,其特征在于,具有:装夹台,用于保持被加工物;对准机构,具有摄像机构,该摄像机构具有将被保持在该装夹台上的被加工物的要加工区域加以检测的物镜;切削机构,对保持在该装夹台上的被加工物实施切削加工,其还具有将收纳该摄像机构的该物镜的物镜箱的下方加以遮蔽的遮蔽机构,该遮蔽机构具有:导引部件,在该物镜箱的下端相对该物镜光轴成直角地被安装并具有与该物镜箱相对应的第1孔;遮蔽部件,可移动地设置在该导引部件下侧并具有与该第1孔相对应的第2孔,是由带有可挠性的片材构成;动作机构,被安装在摄像机构的主体上,使该遮蔽部件沿着该导引部件的下表面移动,使其位于使该第2孔与该第1孔相对置的作用位置和遮蔽该第1孔的遮蔽位置。
地址 日本东京都