图像检查装置

摘要

一种图像检查装置。在图像检查装置中，即使被检查体的种类或制造工序等发生变化，也能够将自动聚焦的对焦位置校正为恰当的位置，可提高检查效率。为进行自动聚焦，从对焦位置检测部(102)通过颜色校正单元(103)、物镜(11)，将检测光(70)照射到基板(1)上，通过由光检测器(36)检测该反射光的位置，而检测出第1目标对焦位置。另一方面，在存储于存储部(3)中的明细中，存储有使第1目标对焦位置偏移的偏移值。并且，根据偏移值而移动颜色校正透镜组(31)的位置，设定到第2目标对焦位置，朝着该处驱动试样移动台(17)。

主权项

1.一种图像检查装置，其特征在于，具有：放置被检查体的载物台；观察光学系统，其对从被检查体反射的光进行成像，使得能够观察；焦点位置移动机构，其将所述观察光学系统相对于所述载物台上的被检查体的在焦点深度方向的位置进行相对移动；对焦位置检测机构，其利用从所述被检查体反射的光，检测出对所述被检查体的第1目标对焦位置；对焦位置校正单元，其使所述第1目标对焦位置偏移，设定对所述被检查体的第2目标对焦位置；驱动单元，其向着所述第2目标对焦位置驱动所述焦点位置移动机构；存储部，其用于存储条件设定信息，该条件设定信息记述了包含用于设定所述第2目标对焦位置的至少一个偏移值在内的每个被检查体的检查条件；以及光分支单元，其将从所述被检查体反射的光从所述观察光学系统进行分支，所述对焦位置校正单元根据所述条件设定信息的所述至少一个偏移值中的任何一个，而设定所述第2目标对焦位置，在光轴方向上可动地设置校正光学元件，该校正光学元件将由所述光分支单元分支后的光成像在所述对焦位置检测机构上，所述对焦位置校正单元通过在光轴方向上移动所述校正光学元件，来设定所述第2目标对焦位置。