发明名称 一种用于硅单晶生长的坩埚
摘要 本实用新型公开了一种定向凝固法生长硅单晶的坩埚,包括坩埚主体,且在坩埚主体底部设有籽晶套管,籽晶套管在靠近坩埚主体部分至少有一段直径收缩形成缩口段,缩口段的两端与籽晶套管的其它部分通过直径渐变的过渡段连接,籽晶套管也可为圆筒或方筒形状。该坩埚能有效解决籽晶放置问题,并使籽晶在引晶过程中消除位错,不需要从根本上改变现有的定向凝固炉的结构,即可有效地生长单晶硅。
申请公布号 CN201362752Y 申请公布日期 2009.12.16
申请号 CN200920115886.9 申请日期 2009.03.23
申请人 浙江碧晶科技有限公司 发明人 李乔;马远
分类号 C30B11/00(2006.01)I 主分类号 C30B11/00(2006.01)I
代理机构 杭州天勤知识产权代理有限公司 代理人 胡红娟
主权项 1、一种用于定向凝固法生长硅单晶的坩埚,包括坩埚主体(4),其特征在于:在坩埚主体(4)底部设有籽晶套管(3)。
地址 312300浙江省上虞市人民西路567号