发明名称 | 一种用于硅单晶生长的坩埚 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种定向凝固法生长硅单晶的坩埚,包括坩埚主体,且在坩埚主体底部设有籽晶套管,籽晶套管在靠近坩埚主体部分至少有一段直径收缩形成缩口段,缩口段的两端与籽晶套管的其它部分通过直径渐变的过渡段连接,籽晶套管也可为圆筒或方筒形状。该坩埚能有效解决籽晶放置问题,并使籽晶在引晶过程中消除位错,不需要从根本上改变现有的定向凝固炉的结构,即可有效地生长单晶硅。 | ||
申请公布号 | CN201362752Y | 申请公布日期 | 2009.12.16 |
申请号 | CN200920115886.9 | 申请日期 | 2009.03.23 |
申请人 | 浙江碧晶科技有限公司 | 发明人 | 李乔;马远 |
分类号 | C30B11/00(2006.01)I | 主分类号 | C30B11/00(2006.01)I |
代理机构 | 杭州天勤知识产权代理有限公司 | 代理人 | 胡红娟 |
主权项 | 1、一种用于定向凝固法生长硅单晶的坩埚,包括坩埚主体(4),其特征在于:在坩埚主体(4)底部设有籽晶套管(3)。 | ||
地址 | 312300浙江省上虞市人民西路567号 |