从吸附操作回收NF₃

摘要

本发明涉及从吸附操作回收NF3的方法。在传统的变温吸附(TSA)工艺中，与杂质共吸附的NF3是在再生过程中排放的。本发明涉及一种回收共吸附的NF3的新型TSA循环。在该新型TSA循环中，用控制线路在吸附剂饱和之前停止对杂质的吸附并利用回收吹扫气体(同向流动或逆流)从饱和的吸附剂释放共吸附的NF3。惰性吹扫气体的流出物可与运行中容器的流出物合并或可再循环到运行中容器的进料中。在本发明的新型TSA循环吸附的NF3的10-100％被回收并作为产品提供。因此，本方法的NF3总收率提高。从吸附剂去除共吸附的NF3还防止吸附剂退化，因此延长了吸附剂的使用寿命。

主权项

一种用于在具有至少两个各包含吸附剂的容器的系统中从粗NF3气体流中去除至少一种杂质的方法，该方法包括如下步骤：使粗NF3气体流流过第一容器中的第一吸附剂，以选择性地吸附该至少一种杂质；在预定时间以后或当第一吸附剂的流出物达到该至少一种杂质的预定水平时，改变粗NF3气体流的方向使其流过第二容器中的第二吸附剂；使回收吹扫气体流过第一吸附剂以选择性地从第一吸附剂解吸共吸附的NF3；当经过预定时间或当回收吹扫气体的流出物达到该至少一种杂质的预定水平或共吸附的NF3的预定百分比时，停止回收吹扫气体流；使再生吹扫气体流过第一吸附剂以从第一吸附剂吹扫吸附的至少一种杂质和剩余的共吸附的NF3；和停止再生吹扫气体流。